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Interferenzlithographie
ist ein parallel arbeitender Belichtungsprozess zur Erzeugung von Mikrostrukturen. Sie ermöglicht die Herstellung winziger Strukturen auf sehr großen Flächen. Die Dichte der Strukturdetails kann bis zu etwa 25 Mio. pro mm² betragen. Strukturdetails und Linienbreiten von 100nm bis etwa 100µm sind möglich. Holotools strukturiert homogen Flächen bis zu 960mm x 720mm.
Laserstrahlung von einem UV-Laser wird großflächig aufgeweitet und zur Erzeugung eines Interferenzmusters überlagert. Dieses Interferenzmuster wird mit einem photoempfindlichen Material aufgenommen. Dieser Photoresist wird bei der anschließenden Entwicklung teilweise abgelöst. Das Interferenzmuster wird so in ein Oberflächenprofil umgewandelt. Der gesamte Prozess kommt ohne schreibende Verfahren und ohne Belichtungsmasken aus.
Kopien der Originalstruktur können durch Abformung mittels Electroforming in Nickel hergestellt werden. Diese Nickelmatrizen, auch Shims, werden dann als Prägewerkzeuge in Replikationsprozessen wie Spritzgießen, Heißprägen und Walzenprägen eingesetzt.
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